DIN EN ISO 14644-1, Ausgabe 1999-07

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit

Inhaltsverzeichnis DIN EN ISO 14644-1:

  Seite 
1  Anwendungsbereich  3 
2  Definitionen  3 
3  Klassifizierung  4 
4  Nachweis der Übereinstimmung  5 
Anhang A (informativ)  Graphische Darstellung der Klassen nach Tabelle 1  6 
Anhang B (normativ)  Bestimmung der Partikelreinheitsklassifizierung unter Verwendung eines Streulichtpartikelzählgeräts  7 
Anhang C (normativ)  Statistische Auswertung von Partikelkonzentrationsdaten  9 
Anhang D (informativ)  Beispiele für Klassifizierungsberechnungen  10 
Anhang E (informativ)  Überlegungen zur Partikelzählung und Größenbestimmung von Partikeln außerhalb der bei der Klassifizierung angewandten Größenordnungen  13 
Anhang F (informativ)  Aufeinanderfolgende Probenahmeverfahren  14 


Erläuterungen:

Diese Norm enthält die Klassifizierung der Partikelreinheit der Luft in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen. Die Ausführung und Festlegungen beziehen sich ausschließlich auf die Konzentration luftgetragener Partikel. Desweiteren werden für Klassifizierungszwecke nur Partikelgruppen in Betracht gezogen, deren Summenhäufigkeitsverteilung zwischen den kritischen Partikelgrößen (untere Grenze) 0,1 µm und 5 µm basiert.


 

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